Caracterisation de films minces déposés par plasma RCER à partir de diphenylemethèesilane (DPMS) en vue de l'obtention d'un materiau à faible permitivité (low k) pour des applications microelectroniques
Title: Caracterisation de films minces déposés par plasma RCER à partir de diphenylemethèesilane (DPMS) en vue de l'obtention d'un materiau à faible permitivité (low k) pour des applications microelectroniques
Major: Génie électrique
Subject: Thèse de Master
Description:
University: Université de Constantine
Uploaded on: 2018-08-01
Uploaded by: Omar

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